三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度基準(zhǔn)怎么衡量的？

對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)全部21 項(xiàng)誤差( 21 個(gè)自由度上的誤差) 的補(bǔ)償上。固定補(bǔ)償模型的精度取決于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量重復(fù)性、補(bǔ)償模型的完善程度以及校準(zhǔn)方法的精度。自適應(yīng)補(bǔ)償模型用于正坐標(biāo)測(cè)量機(jī)隨機(jī)發(fā)生的幾何構(gòu)成上的變化。提高三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度的成本取決于測(cè)量機(jī)的重復(fù)而不是幾何精度。通過(guò)精度提高一般可使幾何誤差減少80%~ 90% 。溫度變化是引起三坐標(biāo)測(cè)機(jī)的幾何構(gòu)成發(fā)生變化的最大因素。當(dāng)對(duì)測(cè)量機(jī)光柵尺及工件都進(jìn)行了校正后, 由熱膨脹引起的誤差可減少80%以上。溫度測(cè)量的不確定性及熱膨脹系數(shù)的變化留下10% ~ 20% 的殘差得不到校正。但當(dāng)溫度迅速變化時(shí), 由于情況變得復(fù)雜, 線性溫度補(bǔ)償不能很好地起作用。國(guó)外曾限元分析的方法生成補(bǔ)償模型。此法可使結(jié)構(gòu)對(duì)溫度變化的響應(yīng)作出很好的預(yù)測(cè), 但在預(yù)測(cè)邊界條件時(shí)( 如周圍空氣的熱傳導(dǎo)率) 存在的困難, 而只能得到十分近似的模型總體。與坐標(biāo)測(cè)機(jī)中相應(yīng)的誤差相比, 工件變形較大。目前國(guó)外還沒(méi)有出現(xiàn)用于溫度變化條件下的自適應(yīng)補(bǔ)償技術(shù).

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度完全取決于其內(nèi)部坐標(biāo)基準(zhǔn)的幾何構(gòu)成準(zhǔn)確性。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度提高可通過(guò)使用固定補(bǔ)償模型或自適應(yīng)補(bǔ)償模型,或?qū)烧呓Y(jié)合起來(lái)完成。固定補(bǔ)償模型取決于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)誤差的檢測(cè)結(jié)果及所建立的校正表。例如, 使用激光干涉儀標(biāo)定的光柵尺校正值表, 可用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)光柵尺的線性度補(bǔ)償。應(yīng)用固定補(bǔ)償模型還可擴(kuò)展到